Infinity 器件/晶片级失效分析测量

FTI1000/2000 功率分立器件测试

SUSS 手动探针系统

SUSS 半自动探针系统

SUSS ProbeShield 技术

SUSS 专用探针系统

BA101 IC 样品制备系统

PS102W/S 酸法器件开封机

PL101 激光开封系统

FX 系列自动开短路测试仪

RIE 反应离子刻蚀系统

微光探测显微镜

激光注射显微镜

红外热点探测仪

G6 型 包装检测仪

缺陷位置分析系统

膜厚线宽量测仪

专用探针系统

MEMS 和材料应用测试系统， 用于：
• i. 压力传感器
• ii. 加速度计和陀螺仪
• iii. 射频 MEMS
• iv. 微镜阵列
• v. 红外传感器 / 探测器

失效分析的应用
• i. 双面探针系统
• ii. 背面发射探针系统
• iii. 测试头探针系统